分光干涉式晶片厚度计
si-f80r 系列
控制器 出口管制不受控制品 -九游会真人第一品牌游戏合营
*请注意，图片中的配件可能不包括在产品中。
规格
型号 | si-f1003*1 | |||
类型 | 主控制器 独立型*2 | |||
可连接的光谱单元数 | 2 | |||
显示 | 最小显示单位 | 0.001 µm | ||
显示范围 | ±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm，(可选 7 种设定) | |||
显示周期 | 10 次／秒 | |||
端子台 | 激光远程联锁输入 | 无电压输入*3 | ||
定时 1 输入 | 无电压输入 2*3 | |||
复位 1 输入 | 无电压输入*3 | |||
自动调零1 输入 | ||||
激光控制输入 | ||||
模拟电压输出 | ±10 v x 2 输入，输出阻抗: 100 ω*3 | |||
模拟电流输出 | 4 至 20 ma x 2 输出，最大负载阻抗: 350 ω*3 | |||
警报输出 | npn 开集极输出(n.c.)*3 | |||
通用比较器输出 | npn 开集极输出*3 | |||
扩展接口 | 定时输入 | 无电压输入 2*3 | ||
复位输入 | 无电压输入*3 | |||
自动调零输入 | ||||
程序切换输入 | 无电压输入 x 3 输入*3 | |||
警报输出 | npn 开集极输出(n.c.)*3 | |||
比较器/ 二进制 输出 | 二进制输出 | 测量数据输出 (21 位), 可选 out 的 npn 开集极输出*3 | ||
选通脉冲输出 | npn 开集极输出*3 | |||
二进制选择输出 | ||||
二进制选择输入 | 无电压输入*3 | |||
rs-232c 接口 | 测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps) | |||
usb 接口 | 兼容 2.0 highspeed(兼容 usb 1.1 full-speed) | |||
ethernet 接口 | 100base-tx/10base-t | |||
主要功能 | 12 个 out 同时测量 | |||
额定 | 电源电压 | 24 vdc ±10 %、纹波 (p-p) 10 % 以下 | ||
消耗电流 | 连接 1 个传感头时: 0.6 a 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 a 以下。 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | 0 至 50 °c*4 | ||
相对湿度 | 35 至 85 % rh (无凝结) | |||
抗震性 | 10 至 55 hz、双振幅 0.5 mm、x,y,z 方向各 2 个小时 | |||
重量 | 约 600 g | |||
*1 可单独使用si-f1000。测量值显示以及设定变更，可通过显示面板(si-fd500)或设定支援软件(si-h1)进行。 | ||||
