全自动影像测量仪
lm-x 系列
测量头 搭载彩色激光/ 接触探头 -九游会真人第一品牌游戏合营
*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。
规格
型号 | lm-x100tl | |||
类型 | 测量头 | |||
拍摄元件 | 1 型 2000 万像素 黑白cmos | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
图像测量 | 视野 | 广视野测量模式 | 325 mm × 175 mm | |
高精度测量模式 | 306 mm × 156 mm | |||
最小显示单位 | 0.1 μm | |||
重复精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±0.5 μm | |
高精度测量模式 | ±0.1 μm | |||
有座标台移动 | x/y 轴 | ±0.9 μm | ||
xy 平面 | ||||
测量精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±2 μm *1 | |
高精度测量模式 | ±0.7 μm *2 | |||
有座标台移动 | x/y 轴(eux,mpe、euy,mpe) | ±(1.8 0.02 l)μm *3 | ||
xy 平面(euxy , mpe) | ±(2.8 0.02 l)μm *3 | |||
af 高度测量 | 重复精度 | ±2 μm | ||
测量精度(euz,mpe) | ±(4.8 0.04 l)μm *4 | |||
激光高度测量 | 可测量范围(xy) | 239 mm × 146 mm | ||
最小显示单位 | 0.1 μm | |||
重复精度 | ±0.6 μm *5 | |||
测量精度(euz,mpe) | ±(4.8 0.04 l)μm *4 | |||
光点直径 | ø50 μm | |||
激光等级 | class 1 | |||
接触探头测量 | 可测量范围(xy) | 248 mm × 141 mm | ||
测量力 | 0.015 n *6 | |||
最小显示单位 | 0.1 μm | |||
重复精度 | x/y 轴 | ±1.4 μm | ||
xy 平面 | ||||
z 轴 | ||||
测量精度 | x/y 轴(eux,mpe euy,mpe) | ±(2.8 0.02 l)μm *7 | ||
xy 平面(euxy,mpe) | ±(3.8 0.02 l)μm *7 | |||
z 轴(euz,mpe) | ±(4.8 0.04 l)μm *4 | |||
外部遥控输入 | 无电压输入(有接点/ 无接点) | |||
外部输出 | ok/ng/fail/meas. | photomos 输出 | ||
照明系统 | 透过 | 绿色led 远心透过照明 | ||
落射 | 彩色led、白色led 4 分割多角度照明(电动) | |||
外部照明控制 | 光量控制 | pwm 控制 100 khz | ||
输出电压 | 12 vdc | |||
输出电流 | 1.6 a(最大) | |||
xy 座标台 | 移动范围 | 300 mm × 150 mm | ||
承受负重 | 7 kg | |||
z 座标台 | 移动范围 | 75 mm(电动) | ||
电源 | 电源电压 | 100 至240 vac ±10%(50/60 hz) | ||
消耗功率 | 150 va 以下 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | 10 至35° c *8 | ||
相对湿度 | 20 至80%rh(无凝结) | |||
过电压类别 | ⅱ | |||
污染等级 | 2 | |||
重量 | 约35 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 23±1° c 时 |