全自动影像测量仪

lm-x 系列

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测量头 搭载接触探头 -九游会真人第一品牌游戏合营

lm-x100t - 测量头 搭载接触探头

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

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规格

型号

lm-x100t

类型

测量头

拍摄元件

1 型 2000 万像素 黑白cmos

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

325 mm × 175 mm

高精度测量模式

306 mm × 156 mm

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±0.5 μm

高精度测量模式

±0.1 μm

有座标台移动

x/y 轴

±0.9 μm

xy 平面

测量精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±2 μm *1

高精度测量模式

±0.7 μm *2

有座标台移动

x/y 轴(eux,mpe、euy,mpe)

±(1.8 0.02 l)μm *3

xy 平面(euxy , mpe)

±(2.8 0.02 l)μm *3

af 高度测量

重复精度

±2 μm

测量精度(euz,mpe)

±(4.8 0.04 l)μm *4

接触探头测量

可测量范围(xy)

248 mm × 141 mm

测量力

0.015 n *5

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

x/y 轴

±1.4 μm

xy 平面

z 轴

测量精度

x/y 轴(eux,mpe euy,mpe)

±(2.8 0.02 l)μm *6

xy 平面(euxy,mpe)

±(3.8 0.02 l)μm *6

z 轴(euz,mpe)

±(4.8 0.04 l)μm *4

外部遥控输入

无电压输入(有接点/ 无接点)

外部输出

ok/ng/fail/meas.

photomos 输出
额定负载24 vdc、0.5 a
on 电阻 50 mω 以下

照明系统

透过

绿色led 远心透过照明

落射

彩色led、白色led 4 分割多角度照明(电动)
绿色led 缝隙环状(指向性)侧射照明(电动)
白色led 远心同轴照明

外部照明控制

光量控制

pwm 控制 100 khz

输出电压

12 vdc

输出电流

1.6 a(最大)

xy 座标台

移动范围

300 mm × 150 mm
(电动)

承受负重

7 kg

z 座标台

移动范围

75 mm(电动)

电源

电源电压

100 至240 vac ±10%(50/60 hz)

消耗功率

150 va 以下

环境抗耐性

环境温度

10 至35° c *7

相对湿度

20 至80%rh(无凝结)

过电压类别

污染等级

2

重量

约34 kg

*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 23±1° c 时
*2 在5 mm × 5 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 23±1° c 时
*3 参考iso10360-7,于调焦点位置、使用环境温度 23±1° c、座标台载重2 kg 以下时,l 为xy 座标台移动量(mm)
*4 参考iso10360-7,面- 点高度、使用环境温度 23±1° c、测量目标物的最大高度设定在50 mm 以下时,l 为z 座标台移动量(mm)
*5 代表值
*6 参考iso10360-7,使用环境温度 23 ±1° c、座标台载重2 kg 以下时,l 为xy 座标台移动量(mm)
*7 xy 座标台移动速度80 mm/s 时为 15 至35° c

其他型号