形状测量激光显微系统
vk-x 系列
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测量部 -九游会真人第一品牌游戏合营
*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。
规格
型号 | vk-x130k | |||
综合倍率 | 19200 倍以下*1 | |||
视野 (最小观察范围) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧频率 | 激光测量速度 | 4 至120 hz、7,900 hz*2 | ||
测量原理 | 光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | ||
光接收元件 | 光电倍增器、16 bit 感应 | |||
扫描方式 (常规测量时及图像连接时) | 自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(aag ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) | |||
高度测量 | 显示分辨率 | 5 nm | ||
线性标尺 | ||||
动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度) | 16 bit | |||
重复精度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
z轴测量用内存 | 140 万步骤 | |||
准确性 | 0.2 l/100 µm 或更小 (l = 测量长度)*4 | |||
z 载物台结构 | 结构 | 测量头分离结构 | ||
最大样品高度 | 28 mm, 128 mm (可选件) | |||
宽度测量 | 显示分辨率 | 10 nm | ||
重复精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
准确性 | ±2%*5 | |||
xy 载物台结构 | 手动 运行范围 | 70 mm×70 mm | ||
电动 运行范围 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
观察 | 观察图像 | 超高精细彩色ccd 图像 | ||
最大拍摄分析率 | 3072×2304 | |||
测量用激光光源 | 波长 | 红色半导体激光 658 nm | ||
最大输出 | 0.95 mw | |||
激光产品 | 2 类激光产品 (gb7247.1) | |||
重量 | 测量部 | 约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg) | ||
控制器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |