彩色激光同轴位移计

cl-3000 系列

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光学单元 (真空、耐热 50 mm 型) -九游会真人第一品牌游戏合营

cl-v050n - 光学单元 (真空、耐热 50 mm 型)

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

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规格

型号

cl-v050n*1

类型

光学单元

探头

cl-v050 *1

基准距离

50 mm

标准设定范围

测量范围

± 4 mm

直线性

± 1.4 µm *2

高精度测量范围

测量范围

± 1.6 mm

直线性

± 1.3 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

光点直径

ø 40 µm

激光级别

光学单元

class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

ip40 真空用除气结构 *4

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

使用环境温度

探头

-20 至 200°c

光学单元

0 至 50°c

相对湿度

85% rh 以下(无凝结)

耐振动性

探头

10 至 57 hz 多幅振幅 1.5 mm x、y、z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 hz 多幅振幅 0.3 mm x、y、z 方向各 2 小时

耐冲击性

15g 6 ms

真空

支持超高真空 *5

温度特性

探头

0.015% of f.s. /℃ *6

光学单元

0.015% of f.s. /℃

材质

探头

sus304

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 100 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*4 粘贴附带的贴纸后,相当于ip50。
*5 在10^-6 pa 环境下经过动作验证。
*6 数据适用于在感测头与工件之间使用 sus303(或 sus304)夹具的情况。

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