3d自动测量单元（s5台） -九游会真人第一品牌游戏合营

型号

vhx-s15h

马达

5 相步进马达

定位精度

6 µm^*1

重复精度

±0.5 µm^*1

平台移动量

15 mm

分辨率

0.05 µm / 脉冲

载重

5 kg

额定

电源电压

100 至 240 vac、50/60 hz

额定值

功率消耗

70 va

环境抗耐性

环境温度

5 至 40 °c

相对湿度

35 至 80 % rh (无凝结)

重量

1.3 kg