分光干涉位移型多层膜厚测量仪

si-t 系列

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分光单元 -九游会真人第一品牌游戏合营

si-t10u - 分光单元

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

  • 九游会真人第一品牌游戏合营

规格

型号

si-t10u*1

类型

多层位移测量型 分光单元

测量范围 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

参考距离

9 mm*2

测量用光源

红外sld , 输出1 mw , 1 类激光产品(iec60825-1)

光束直径

ø30 µm*3

线性度

±0.3 µm*4

分辨率

0.01 µm (0.25 µm)*5*6

采样周期

1 ms

扫描范围

扫描周期

led显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

环境抗耐性

外壳防护级

环境光照

白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

环境温度

0 到 35°c

相对湿度

35 到80%rh(无冷凝)

抗震性

10 到55hz,xyz 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时

材料

聚碳酸酯

重量

约1.3kg

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
*6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值

其他型号