分光干涉式晶片厚度计
si-f80r 系列
传感器头 薄片厚度测量型 -九游会真人第一品牌游戏合营
*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。
规格
型号 | si-f80r*1 | |||
类型 | 晶片厚度测量型 传感头 | |||
测量范围 | 10 至 310 µm (n=3.5 时)*2 | |||
可实现的检测距离 | 80 至 81.1 mm | |||
光源 | 红外 sld 输出 0.6 mw, 1 类激光产品(iec60825-1, fda(cdrh)part 1040.10 *3) | |||
光束直径 | ø25 µm*4 | |||
线性度 | ±0.1 µm*5 | |||
分辨率 | 0.25 µm*6 | |||
脉冲持续时间 | 200 µs | |||
led 指示器 | 工件靠近测量中心 : 绿光。工件在测量范围内 : 橙光。工件在测量范围外 : 橙光闪烁。 | |||
温度波动 | ― | |||
环境抗耐性 | 外壳防护级 | ip64 | ||
环境光照 | 白炽灯/荧光灯:最大 10,000 lux | |||
环境温度 | 0 至 50 °c | |||
相对湿度 | 35 至 85 % rh (无凝结) | |||
抗震性 | 10 至 55 hz、双振幅 1.5 mm、x,y,z 方向各 2 个小时 | |||
材料 | sus | |||
重量 | 约 70 g (含连接线) | |||
*1 传感头和光谱单元成对校准。两者不可互换。 |