三重扫描方式 解决“难以测量”的难题

可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。

白光干涉
激光共聚焦
聚焦变化

最高分辨率0.01 nm

即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。

连高度差较大的凹凸处 和大范围区域也能测量

最大扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。

精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

适用于各种目标物的测量能力

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